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  等离子体等离子体介绍：等离子体又叫做电浆是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质它广泛存在于宇宙中常被视为是除去固液气外物质存在的第四态等离子体是一种很好的导电体利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉移动和加速等离子体 HYPERLINK :baike.baiduview699439.htm t _blank 等离子体物理的发展为材料能源信息

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  等离子态将气体加热当其原子达到几千甚至上万摄氏度时电子就会被原子被甩掉原子变成只带正电荷的离子此时电子和离子带的电荷相反但数量相等这种状态称做等离子态人们常年看到的闪电流星以及荧光灯点燃时都是处于等离子态人类可以利用它放出大量能量产生的高温切割金属制造半导体元件进行特殊的化学反应等. 在茫茫无际的宇宙空间里等离子态是一种普遍存在的状态宇宙中大部分发光的星球内部温度和压力都很高这些星球内部的物质差不

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  1.目的：规范操作为生产车间操作规范化提供依据2.范围：适用于车间等离子体刻蚀工序3.职责：负责等离子刻蚀之生产作业负责刻蚀过程中不合格片之标示隔离 负责发现作业过程中设备工艺异常状况时的反映4.名词定义：等离子刻蚀：用高能等离子体和四氟化碳来腐蚀硅片刻除硅片四周的PN结5.等离子体生产操作指导说明：一装片1.将手推车推到扩散间传递窗下面打开传递窗门(传递窗只能一面打开保持传递窗内的洁净度)

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