X射线能谱仪(EDS)X射线波谱仪(WDS)EDS与 WDS间的比较X射线显微分析在材料科学研究中的应用X射线探测器脉冲处理器模数转换器多道分析器是将试样各元素的特征X射线峰显示再能谱仪上按其能量数值确定试样的元素组成定性分析的一般方法注意事项X射线波谱仪(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer WDS)WDS的结构(a)能谱曲线
电子探针X射线微区分析电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面并根据微区内所发射出X射线的波长( 或能量)和强度进行定性和定量分析的方法电子探针工作原理 电子探针(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主要功能是进行微区成分分析它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发
EMA与SEM不同的是前者着重微区成分分析而后者主要用作图像观察EMA和SEM中作微区化学成分分析都基于测量电子束激发产生的x射线这些x射线的标定和测量可以用能谱仪(EDS)或晶体分光谱仪(CDS)后者有时称作波谱仪(WDS)虽然近年来SEM配上EDS系统这种配置的仪器使用日益广泛但请记住.由于EMA本身的一些特点使它在做微区成分分析上的优越性明显地胜过SEMEMA一般配几道CDS并有非常稳定的样
第八章 X射线谱仪和电子探针Electron Probe Microanalyser (EPMA)在SEM里我们用特征X射线谱来分析材料微区的化学成分这种微区分析可小至几?m3每一种元素都有它自己的特征X射线根据特征X射线的波长和强度就能得出定性与定量的分析结果这是用X射线做成分分析的理论依据X射线谱的测量与分析有两种方法:能谱仪(EDS)波谱仪(WDS) 能谱:能量色散谱 (EDS)1原理1能量
第十五章 电子探针显微分析电子探针的原理电子探针仪的结构波谱仪(WDS)能谱仪(EDS)电子探针仪分析方法8/30/20231HPU-LQ电子探针的原理用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品中各元素的特征(标识) X射线:定性分析分析特征X射线的波长(或特征能量),得到元素的种类;定量分析-分析特征X射线的强度,得到样品中相应元素的含量8/30/20232HPU-LQ电子探针仪的结构电子探针仪主要
本章主要内容 由于作用在试样上的电子束很细形状如针故称之为电子探针也正是由于电子束很细其作用范围很小因此利用电子探针可以对试样的微小区域进行化学成分的定性分析和定量分析材料现代测试方法 电子探针显微分析Dept. of MSE CQU X射线波长色散谱仪主要由分光晶
电子衍射与X射线的衍射一样必须满足布拉格方程或劳埃方程衍射方向遵守光学镜面反射定律 透射电镜的图像是由于透过试样各点参与成像的电子强度不同所造成的 透射电镜图像的衬度主要有散射(质量-厚度)衬度衍射衬度和相位衬度不同图像衬度的形成机理是不相同的 由此可见散射截面随原子序数(Z)的增大而增大随加速电压的增大而减小明场像:让散射角较小的电子通过物镜光栏所成的像称
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第二十三章 扫描电子显微分析与电子探针 第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 一工作原理 图22-1 扫描电子显微镜原理示意图 二构造与主要性能 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)偏转系统信号检测放大系统图像显示和记录系统电源系统和真空系统等部分组成 1.电子光学系统 由电子抢电磁聚光镜光栏样品室等部件组成作用:获得扫
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