微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜黄建良汪建华(1.武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室湖北 武汉4300732.中国科学院等离子体物理研究所安徽 合肥230031)摘 要:为了提高微波等离子体化学气相沉积CVD金刚石膜的速率通过对微波源的磁控管装置的冷却系统及真空密封技术三方面的改进当微波频率输出有效功率为以上时装置能够长期稳定地运行并在微波输入功率CH4质量分数气体流量150SC
微波
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金刚石薄膜金刚石在所有已知物质中具有最高的硬度,室温下有最高的热导率,对光线而言从远红外区到深紫外区完全透明,有最低的可压缩性,极佳的化学惰性,其生物兼容性超过了钛合金等等。然而由于天然金刚石数量稀少,价格昂贵,尺寸有限等因素,人们很难利用金刚石的上述优异的性能。根据天然金刚石存在的事实以及热力学数据,人们一直想通过碳的另一同素异形体石墨来合成金刚石。但由于金刚石与石墨之间存在着巨大的能量势垒,要
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铁钢抛光CVD金刚石膜的机理研究摘 要 本文采用纯铁和碳含量不同的牌号钢作为抛光材料对cvd金刚石膜进行了热化学抛光分别采用semraman光谱和eds对抛光前后的金刚石膜的微观结构表面组织和产物进行了表征结果表明:抛光材料的碳含量对金刚石膜的抛光具有重要影响且金刚石膜的抛光率主要取决于抛光材料对金刚石石墨化的催化能力关键词 金刚石膜抛光石墨化钢扩散中图分类号tb34 文献标识码a 文
第33 卷 第11 期
第 38卷 第3期
Click to edit Master title styleClick to edit Master text stylesSecond levelThird levelFourth levelFifth level石墨烯类金刚石碳复合薄膜的电化学沉积及其场发射性能姜金龙张霞杜金芳王琼戴剑锋魏智强 兰州理工大学理学院应用物理系兰州730050 阴极电流密度随时间的变化 物理化学学报201632
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