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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第七章 材料中的原子扩散扩散定律及其应用扩散机制影响扩散的因素及扩散驱动力几个特殊的有关扩散的实际问题固态相变中的形核概述固态相变的晶体成长下页返回概 述扩散唯象方法——唯象理论(宏观规律)微观方法——原子理论(微观理论) 唯象理论:既不考虑扩散系统的具体结构也不考 虑扩散扩散原子的迁移机构把扩散系统看成是连
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扩散:默认值时为扩散时图片中图像的边缘处会发生溶解一样的扩散现象 选项为变暗优先时图像中颜色较暗的地方才会发生扩散现象 选项为变亮优先时图像中颜色较亮的地方才会发生扩散的现象 选项为各项异性时所有的图像都会发生扩散的现象使整个图像看起来有模糊的感觉拼贴:默认值时图片给人一张张小图拼凑起来的感觉还可以改变空白区域的拼凑线条的颜色以及拼凑的方向 增大拼贴数值图片拼
扩散炉的现状与展望一 概述 j4 j- p7 T4 U进入21世纪电子信息产业的持续高速发展激励和带动了集成电路产业的发展这就为微电子产业发展提供了空前广阔的发展空间也为半导体专用设备提供了巨大的市场潜力( K [8 B??`从微电子行业发展看半导体器件设计向高密度高集成度的方向迅速发展对半导体集成电路新工艺新技术新设备提出了越来越高的要求当前硅片的尺寸由直径150mm发展到300mm超大规模集
分子热运动的必然结果布朗运动公式:是扩散的推动力装置中上下两池有完全吻合的光滑表面先在下池中装入溶液再在上池中装入溶剂平滑的推动上池直至两池对齐(f值由D算出)
参考: 《微电子制造科学原理与工程技术》第3章扩散(电子讲稿中出现的图号是该书中的图号)3)常用的掺杂杂质1)扩散运动:物质的随机热运动趋向于降低其浓度梯度 即存在一个从高浓度区向低浓度区的净移动2)扩散工艺:利用杂质的扩散运动将所需要的杂质掺入硅 衬底中并使其具有特定的浓度分布3)研究杂质在
建立方程
一扩散泵原理示意图真空处理系统里的油扩散泵是借着高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的它用于高真空区域工作其工作压强范围是10-210-6pa油蒸汽从伞形喷咀(如I级喷咀)以超音速喷出后其速度逐渐增大压力及密度逐渐降低???????? ·?????????1油扩散泵的概述:油扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似也是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽真空的目的所以会有水蒸汽喷射泵相似的特点不一样的一点
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