单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第5章 激光干涉测试技术单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级光电测试技术 哈尔滨工业大学第5章 激光干涉测试技术§5-2 激光斐索(Fizeau)型 干涉测试技术2022463§5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术光学干涉测试技术最初在光学零件和光学系统
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第5章 激光干涉测试技术单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级光电测试技术 哈尔滨工业大学第5章 激光干涉测试技术2022462概述由于科学技术的进步干涉测量技术已经得到相当广泛的应用一方面因为微电子微机械微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大量程的要求其它方法难以胜任另一方面因为当代
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级光电测试技术 激光干涉测试技术4620221概述由于科学技术的进步干涉测量技术已经得到相当广泛的应用一方面因为微电子微机械微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大量程的要求其它方法难以胜任另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高量程大可以适合恶劣环境
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级激光测量技术Laser Measurement Technology第二章 激光干涉测量技术§2.1 激光干涉测量长度和位移一干涉测长的基本原理激光干涉的条件1.频率相同2.相位差初始恒定3.振动方向相同(非正交)4.小于波列长度(Δτ≤1Δυ)干涉数学表达式:设两路激光分别为E1 = A cos(ωt ?1 )E2
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