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微电容式加速度传感器论文专 业:电气工程及其自动化班 级:0 7 1 班姓 名:学 号:指导老师:微电容式加速度传感器及其应用班级:07电气1班 :20079450102 :王惠引言 随着微机械系统和微加工技术的发展微型传感器也随之迅速发展微传感器因其尺寸微小测量准确度和灵敏度高而广泛应用于工程医学生物等各个领域微电容式传感器因其结构简
一种电容式MEMS惯性线加速度传感器的设计1 MEMS加速度传感器微加速度传感器是在90年代中期开始广泛用于汽车的安全气囊振动补偿和防滑系统等方面用于提高汽车的可操纵性安全性和舒适性目前汽车上应用的MEMS传感器主要有气囊加速度传感器轮速旋转传感器胎压传感器制冷压力传感器发动机油压传感器刹车压力传感器和偏离速率传感器等在今后的几年中MEMS加速度传感器将大量地应用到汽车中1.1 MEMS加速
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第6 期(总第169 期 )
5.1 电容式传感器的工作原理和结构5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性5.3 电容式传感器的测量电路5.4 电容式传感器的应用 第5章 电容式传感器返回主目录第5章 电容式传感器 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器 如果不考虑边缘效应 其电容量为式中: ε——电容极板间介质的介电常
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2010年
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