第六章化学气相淀积
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第四章:离子注入技术问题的提出:短沟道的形成GaAs等化合物半导体(低温掺杂)低表面浓度浅结纵向均匀分布或可控分布大面积均匀掺杂高纯或多离子掺杂要求掌握:基本工艺流程(原理和工艺控制参数)选择性掺杂的掩蔽膜(Mask)质量控制和检测后退火工艺的目的与方法沟道效应在器件工艺中的各种主要应用离子注入技术的优缺点剂量和射程在注入工艺
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第二篇:IC工艺Chapter 1Contamination Control and Cleaning Technology for ULSI重点:1ULSI对清洁环境的要求2污染的来源3污染对成品率的影响4常见的几种主要污染类型和处理对策5Cleanroom1.1.基本污染类型及其对器件的影响1颗粒:引起电路的开路和短路mm
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第6章 硅基光电子集成回路集成硅基光波导本节中介绍三种利用CMOS工艺中的特定层制作硅基光波导的方法:即场氧化结构做光波导利用两层金属间的氧化物做光波导利用磷硅酸玻璃做光波导.1 场氧化结构做光波导场氧化结构在微 t _blank 电子 t _blank 集成电路工艺中是用来做有源器件间隔离的(如图6-15所示)在硅材料中生长厚的二氧化硅层可以减小有源器件( t _blank
第6章 硅基光电子集成回路硅基光电子集成回路(OEIC)概述硅基光 t _blank 电子集成回路是将光发射器光波导调制器光电探测器及驱动电路和接收器电路进行单片集成所有器件均采用标准 t _blank 集成电路工艺制各或是仅仅对工艺进行微小的修改从而实现全光互连与超大规模 t _blank 集成电路的单片集成易于大规模生产研究单片硅基光电子集成回路的目的是要实现光通信互连
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 第六章装联工艺概述 6.1 装联工艺分类 6.2 装联工艺过程 6.3 装联流水线设备 6.4 装联应具备的条件 本章学时数:2课时 6.1 装联工艺分类(P88) 什么是装联
安秒特性常开(动合)按钮工作原理:过流时过流脱扣器将脱钩顶开断开电 源欠压时欠压脱扣器将脱钩顶开断开电源电路符号接触器有关符号:线圈通电M3中间继电器电压继电器电流继电器 时间继电器(具有延时功能)热继电器(做过载保护)…...串联在主电路中B触头(KM)闭合KMSB2SB1SB2电流成回路只要接两相就可以了KM方法一:用复合按钮SB3SB2方法二:加中间继电器(KA)KHKMRSB1KM
微电子工艺基础Click to edit Master title styleClick to edit Master text stylesgood1Second levelgood2Third levelgood3Fourth levelgood4Fifth levelgood5 Harbin Institute of Technology in WeiHai
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