第 38卷 第3期
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类金刚石碳(DLC)涂层的主要成分为碳是一种兼有高硬度和优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜一种非晶亚稳态结构DLC膜的成份主要指sp3键和sp2键还可能含有一些杂质相如C- H 等物理气相沉积1.离子束沉积(IBD):采用氩等离子体溅射石墨靶形成大量的碳离子并通过电磁场加速使碳离子沉积于基体表面形成DLC膜
金刚石薄膜金刚石在所有已知物质中具有最高的硬度,室温下有最高的热导率,对光线而言从远红外区到深紫外区完全透明,有最低的可压缩性,极佳的化学惰性,其生物兼容性超过了钛合金等等。然而由于天然金刚石数量稀少,价格昂贵,尺寸有限等因素,人们很难利用金刚石的上述优异的性能。根据天然金刚石存在的事实以及热力学数据,人们一直想通过碳的另一同素异形体石墨来合成金刚石。但由于金刚石与石墨之间存在着巨大的能量势垒,要
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第l4 卷第5 期
Click to edit Master title styleClick to edit Master text stylesSecond levelThird levelFourth levelFifth level石墨烯类金刚石碳复合薄膜的电化学沉积及其场发射性能姜金龙张霞杜金芳王琼戴剑锋魏智强 兰州理工大学理学院应用物理系兰州730050 阴极电流密度随时间的变化 物理化学学报201632
第 27 卷 第 4 期
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