本章主要内容 由于作用在试样上的电子束很细形状如针故称之为电子探针也正是由于电子束很细其作用范围很小因此利用电子探针可以对试样的微小区域进行化学成分的定性分析和定量分析材料现代测试方法 电子探针显微分析Dept. of MSE CQU X射线波长色散谱仪主要由分光晶
EMA与SEM不同的是前者着重微区成分分析而后者主要用作图像观察EMA和SEM中作微区化学成分分析都基于测量电子束激发产生的x射线这些x射线的标定和测量可以用能谱仪(EDS)或晶体分光谱仪(CDS)后者有时称作波谱仪(WDS)虽然近年来SEM配上EDS系统这种配置的仪器使用日益广泛但请记住.由于EMA本身的一些特点使它在做微区成分分析上的优越性明显地胜过SEMEMA一般配几道CDS并有非常稳定的样
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第二十三章 扫描电子显微分析与电子探针 第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 一工作原理 图22-1 扫描电子显微镜原理示意图 二构造与主要性能 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)偏转系统信号检测放大系统图像显示和记录系统电源系统和真空系统等部分组成 1.电子光学系统 由电子抢电磁聚光镜光栏样品室等部件组成作用:获得扫
第十五章 电子探针显微分析电子探针的原理电子探针仪的结构波谱仪(WDS)能谱仪(EDS)电子探针仪分析方法8/30/20231HPU-LQ电子探针的原理用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品中各元素的特征(标识) X射线:定性分析分析特征X射线的波长(或特征能量),得到元素的种类;定量分析-分析特征X射线的强度,得到样品中相应元素的含量8/30/20232HPU-LQ电子探针仪的结构电子探针仪主要
X射线能谱仪(EDS)X射线波谱仪(WDS)EDS与 WDS间的比较X射线显微分析在材料科学研究中的应用X射线探测器脉冲处理器模数转换器多道分析器是将试样各元素的特征X射线峰显示再能谱仪上按其能量数值确定试样的元素组成定性分析的一般方法注意事项X射线波谱仪(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer WDS)WDS的结构(a)能谱曲线
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第七章电子显微分析X射线样品室 位于照明系统和物镜之间其作用是安装各种形式的样品台提供样品在观察过程中的各种运动如平移(选择观察区域)倾斜(选择合适的样品位向)和旋转等 透射电镜样品非常薄约为100200nm必须用铜网支撑着常用的铜网直径为3mm左右孔径约有数十μm如图所示2. 透射电镜的主要性能指标晶粒A与入射束不成布拉格角不产生衍射透射束强度IA=I0晶粒B与入射束满足布拉格衍射
电子探针X射线微区分析电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面并根据微区内所发射出X射线的波长( 或能量)和强度进行定性和定量分析的方法电子探针工作原理 电子探针(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主要功能是进行微区成分分析它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级电子显微分析第一章 粒子(束)与材料的相互作用第一节 电子束与材料的相互作用 一 散射 二 电子与固体作用产生的信号 三 电子激发产生的其它现象第一节 电子束与材料的相互作用 入射电子(又称为初始或一次电子)照射固体时与固体中粒子相互作用它包括:
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