重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂 正性光致抗蚀剂的制备与性质摘要:本文关于制备一种正性光致抗蚀剂——重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂及其成像性质的研究重氮萘醌磺酸酯采用244-三羟基二苯甲酮作为接枝化母体与214-重氮萘醌磺酰氯进行酯化得到产量 1.59g产率91.4 并用红外光谱和熔点仪对产物进行了表征重氮萘醌磺酯感光剂与酚醛树脂和乙二醇配胶并均匀铺在铝板上在紫外下曝光稀碱水洗涤显影成像试验得到的结果是:
: : 班级: 试验时间: 地点: 指导老师:光刻实验一.实验目的了解光刻在集成电路工艺中的作用熟悉光刻工艺的步骤和操作二.实验原理集成电路工艺的光刻成像术是将为数众多的电子零件和线路一层一层地转换到一个微小的晶片上每一层均有一片掩膜板靠着光学成像原理光线经过掩膜版透镜而成像在晶片表面上晶片表面必须有如照相底片般的物质存在属于可感光的胶质化合
下面讨论分辨率与灵敏度的关系当入射电子数为 N 时由于随机涨落实际入射的电子数在 范围内为保证出现最低剂量时不少于规定剂量的 90也即 由此可得 因此对于小尺寸曝光区必须满足 通常正胶的对比度要高于负胶 2正性光刻胶 主要以重氮醌为感光化合物以
微电子关键性材料-光刻胶的现状与未来KrF248nm256M655-100wph设备成本中浸入式光刻在2006年完成了量产准备工作AMD与IBM宣布成功开发第一代水浸式光刻工艺并证实浸入式设备的成品率与干法相当ASML发布高达的水浸式ArF曝光设备XT:1900iNikon也推出NA为的水浸式光刻系统NSR-S610C浸入式光刻在45nm量产已是板上钉钉了ArF光刻成功地扩展到第四代2006年业界
激光雕刻机实验编写:陈吉明崔鹏刘满禄西南科技大学工程技术中心二〇一一年八月激光雕刻机实验教学讲义一实验目的1.训练学生运用多种软件进行产品设计的能力(包括三维雕刻软件CorelDRAWAutoCAD等)2.学习计算机激光雕刻机系统(LaserCut)修正图形参数的方法3.学习激光雕刻系统激光雕刻和切割路径设置的基本方法4.学习激光雕刻机的正确操作方法完成所设计产品的雕刻切割加工5实验强调从设计改进
工物系 核11 李敏 2011011693 实验台号19光栅衍射实验实验目的进一步熟悉分光计的调整与使用学习利用衍射光栅测定光波波长及光栅常数的原理和方法 加深理解光栅衍射公式及其成立条件实验原理测定光栅常数和光波波长如右图所示有一束平行光与光栅的法线成角入射到光栅上产生衍射出射光夹角为从点引两条垂线到入射光和出射光如果在处产生了一个明条纹其光程差必等于波长的整数倍即 (
光栅光谱仪实验报告 09级应用物理学03班 40908020323 肖金龙 光栅光谱仪系统(Grating spectrum-meter system)光谱分析方法作为一种重要的分析手段在科研生产质控等方面都发挥着极大的作用无论是穿透吸
偏振光实验报告实验1. 验证马吕斯定律实验原理:某些双折射晶体对于光振动垂直于光轴的线偏振光有强烈吸收而对于光振动平行于光轴的线偏振光吸收很少(吸收o光通过e光)这种对线偏振光的强烈的选择吸收性质叫做二向色性具有二向色性的晶体叫做偏振片P1P2A0A0cosθθ图2 偏振片可作为起偏器自然光通过偏振片后变为振动面平行于偏振片光轴(透振方向)强度为自然光一半的线偏振光如图1图2所示:P1P2线偏
实验目的熟练掌握立式光学计工具的使用方法能够正确的使用立式光学计对给定器材进行测量能够对仪器的进行正确读数并进一步提高巩固对测量数据不确定的分析及结果分析检测待测工件是否合格立式光学计的工作原理 利用光学杠杆的放大原理将微小的位移量转换为光学影像的移动实验器材 立式光学计待测工件(20h7)游标卡尺20cm长的标准件实验步骤:将仪器放在平稳的工作台上将光学计管安在横臂的适当位
实验1. 验证马吕斯定律实验原理:某些双折射晶体对于光振动垂直于光轴的线偏振光有强烈吸收而对于光振动平行于光轴的线偏振光吸收很少(吸收o光通过e光)这种对线偏振光的强烈的选择吸收性质叫做二向色性具有二向色性的晶体叫做偏振片P1P2A0A0cosθθ图2 偏振片可作为起偏器自然光通过偏振片后变为振动面平行于偏振片光轴(透振方向)强度为自然光一半的线偏振光如图1图2所示:P1P2线偏光单色自然光线
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