目前FEMAG软件包括以下六款产品:FEMAGCZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件FEMAG CZOX——FEMAG提拉泡生法晶体生长模拟软件FEMAGFZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件FEMAGDS——FEMAG三维定向凝固模拟软件FEMAGVB——FEMAG VBVGF法晶体生长模拟软件FEMAGPVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件直拉法晶体硅生长中的OSF(氧化诱生层
应用领域直拉法晶体生长的三维应力分布FEMAG-FZ区熔法模拟软件为晶粒生长研究所进行的定向凝固速度分布预测
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FEMAGSoft ? 2010FEMAGSoft ? 2010 半导体和光伏产业中的当前热点都与提高晶体生长产量和质量有关垂直型:Cusp :水平型:在热应力的某个区域晶体是处于亚稳态的某种微扰能对于其离开亚稳态是必要的在该模型中可以了解到晶体能承受的应力要大于拉伸测试的临界值根据位错形成的经典理论位错的形成开始于生长界面附近某区域其应力达至最大值位错继而会向晶体深处生长在应力比较高的区
全球半导体晶体生长仿真著名商业软件FEMAGFloat Zone Process (FEMAG-FZ)FEMAG区熔法软件(FEMAG-FZ)用于模拟区熔法生长工艺 (FZ PFZ)FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场并研发新的方法以满足新的商业需求点比如:无缺陷晶锭生长提高成品率节省RD成本FEMAG区熔法软件因为降低了试验成本而显著节省研发费用区熔法工艺的等温线预测无缺陷晶锭生长无缺陷晶体硅
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级FEMAG晶体生长建模软件-建模策略Fran?ois Dupret12 Roman Rolinsky2 Brieuc Delsaute2 Rajesh Ramaya2 Nathalie Van den Bogaert2 1 Université catholique de Louvain Louvain-la-N
Cliquez pour modifier le style du titreCliquez pour modifier les styles du texte du masqueDeuxième niveauTroisième niveauQuatrième niveauCinquième niveau全球半导体晶体生长计算著名的商业软件FEMAG浮区法进行晶体生长 Roman Rolinsky
FEMAG晶体生长专业模拟软件Czochralski (CZ) Process(FEMAG-CZ) FEMAG直拉法模拟软件(FEMAG-CZ)用于模拟直拉法工艺(包括Cz MCz VCz泡生法)?FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计并研发新的方法以满足新的商业需求点比如:大直径晶锭生长无缺陷硅晶锭生长 提高成品率氧含量控制降低碳含量晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小CCZ工艺仿真磁
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