单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级电子显微分析四川大学分析测试中心王 辉2008年9月联 系 方 式办公室:85412850手 机:13982005852E_mail:scu_wanghui163参考:电子显微镜图象分析原理与应用黄孝瑛著宇航 出版社 1989 79.87114 电子显微镜的原理和设计西门纪业葛肇生编著科学出版社
第七章电子显微分析X射线样品室 位于照明系统和物镜之间其作用是安装各种形式的样品台提供样品在观察过程中的各种运动如平移(选择观察区域)倾斜(选择合适的样品位向)和旋转等 透射电镜样品非常薄约为100200nm必须用铜网支撑着常用的铜网直径为3mm左右孔径约有数十μm如图所示2. 透射电镜的主要性能指标晶粒A与入射束不成布拉格角不产生衍射透射束强度IA=I0晶粒B与入射束满足布拉格衍射
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电子衍射与X射线的衍射一样必须满足布拉格方程或劳埃方程衍射方向遵守光学镜面反射定律 透射电镜的图像是由于透过试样各点参与成像的电子强度不同所造成的 透射电镜图像的衬度主要有散射(质量-厚度)衬度衍射衬度和相位衬度不同图像衬度的形成机理是不相同的 由此可见散射截面随原子序数(Z)的增大而增大随加速电压的增大而减小明场像:让散射角较小的电子通过物镜光栏所成的像称
EMA与SEM不同的是前者着重微区成分分析而后者主要用作图像观察EMA和SEM中作微区化学成分分析都基于测量电子束激发产生的x射线这些x射线的标定和测量可以用能谱仪(EDS)或晶体分光谱仪(CDS)后者有时称作波谱仪(WDS)虽然近年来SEM配上EDS系统这种配置的仪器使用日益广泛但请记住.由于EMA本身的一些特点使它在做微区成分分析上的优越性明显地胜过SEMEMA一般配几道CDS并有非常稳定的样
2005年10月26日
2005年10月26日
X射线能谱仪(EDS)X射线波谱仪(WDS)EDS与 WDS间的比较X射线显微分析在材料科学研究中的应用X射线探测器脉冲处理器模数转换器多道分析器是将试样各元素的特征X射线峰显示再能谱仪上按其能量数值确定试样的元素组成定性分析的一般方法注意事项X射线波谱仪(Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer WDS)WDS的结构(a)能谱曲线
本章主要内容 由于作用在试样上的电子束很细形状如针故称之为电子探针也正是由于电子束很细其作用范围很小因此利用电子探针可以对试样的微小区域进行化学成分的定性分析和定量分析材料现代测试方法 电子探针显微分析Dept. of MSE CQU X射线波长色散谱仪主要由分光晶
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