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太阳能级多晶硅工艺生产的综述.ppt
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级太阳能级多晶硅工艺生产的综述 高纯硅的制备一般首先由硅石(SiO2)制得工业硅(粗硅)高纯的多晶硅最后制成半导体材料硅单晶工业上是用硅石(SiO2)和焦炭以一定比例混淆在电炉中加热至16001800℃而制得纯净度为9599的粗硅其反映如下：SiO22C=Si2CO粗硅中一般含有铁铝碳硼磷铜等杂高纯硅的制备一般首先由硅石(S
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