单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第8章 气相沉积技术8.1 薄膜及其制备方法8.2 真空蒸发镀膜 8.3 溅射镀膜8.4 离子镀8.5?化学气相沉积8.6 分子束外延制膜法思考题气相沉积薄膜形成的主要步骤是什么PVD的基本镀膜技术有哪几种其原理分别是什么CVD和PVD有什么不同处什么是分子束外延制膜法它与真空蒸镀法相比有哪些改进8.1 薄膜及其制备方法薄膜的