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MEMS压力传感器.docx
MEMS压力传感器MEMS(微机电系统)微机电系统(Microelectromechanical SystemsMEMS)是指集微型传感器执行器以及信号处理和控制电路接口电路通信和电源于一体的微型机电系统其概念起源于1959年美国物理学家诺贝尔获得者Richard P Feynman提出的微型机械的设想MEMS相关技术1．微系统设计技术 主要是微结构设计数据库有限元和边界分析CADCAM仿真
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