单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级材料表面强化技术第三章 气相沉积技术 气相沉积是利用气相中发生的物理化学过程改变工件表面成分在表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层TargetMediumSubstrate 气相沉积的物理基础 相变驱动力是亚稳定的气相与沉积固相之间的吉布斯自由能差沉积的相变阻力还是形成新相表面能的增加 气相沉积的必要