(设备技术性能指标及参数目的用途环境要求等)设备用途可实现SiSiO2Si3N4以及聚合物(如TeflonParylene)等常规材料刻蚀投标厂家提供多种工艺调试和开发的服务设备规格反应腔体:腔体由整块铝锭加工制成无焊缝低漏率真空窗口可观察腔体内部状况Load lock腔体:可传输6英寸晶圆真空窗口可观察腔体内晶圆传输状况利用机械手臂进行晶圆传输下电极:尺寸不小于220mm晶圆采用背面氦气冷