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薄膜材料制备原理技术及应用.docx
平均自由程：气体分子在两次碰撞的时间里走过的平均距离(λ=1nπd2)气体分子通量：气体分子对单位面积表面的碰撞频率也即单位面积上气体分子的通量(Φ=nva4=Nap2πMRT此结果又称为克努森方程)流导：真空管路中气体的通过能力真空泵的抽速：定义Sp=Qp p为真空泵入口处的气体压力Q为单位时间内通过真空泵入口的气体流量Pvd：利用某物理过程实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程Cvd
日期：2022-06-06 格式：.docx 页数：5页 大小：19.81KB 发布：
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