Click to edit Master title styleClick to edit Master text stylesSecond levelThird levelFourth levelFifth level基于MEMS的磁流场压力传感器2012.11.7本文内容提要 一 课题背景现状及发展趋势二 磁流体传感器具体的工作原理三 实验结果四 学习体会一磁流体传感器的背景及发展现状趋势
MEMS压力传感器MEMS(微机电系统)微机电系统(Microelectromechanical SystemsMEMS)是指集微型传感器执行器以及信号处理和控制电路接口电路通信和电源于一体的微型机电系统其概念起源于1959年美国物理学家诺贝尔获得者Richard P Feynman提出的微型机械的设想MEMS相关技术1.微系统设计技术 主要是微结构设计数据库有限元和边界分析CADCAM仿真
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS压力传感器原理与应用 主要内容1.什么MEMS压力传感器2.压力传感器的发展历程3.MEMS压力传感器原理与结构 3.1 硅压阻式MEMS压力传感器
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级MEMS传感器的敏感原理MEMS传感器的敏感原理压阻效应压电效应电容效应谐振效应隧穿效应热效应光学效应其它压阻效应(piezoresistivity)电阻 为电阻率取 得压阻效应:导体在外力作用下发生机械变形时其电阻值随着所受机械变形(伸长或缩短)的变化而发生变化象 压阻效应(piezor
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式基于微加速度传感器的倾角传感器目录倾角传感器简介倾角传感器分类及其原理电容式加速度微传感器倾角传感器测量原理总结倾角传感器简介 在建筑施工或道路铺修中 经常要对工程机械或机架装置进行调平校准 并且要对施工质量进行检测 这时遇到最多的问题就是水平与倾斜的测量如果能设计一种带数字显示及数字通讯接口的倾角传感器 用以代替基于水泡的各种水平尺等简陋工具
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级华南农业大学博士生现代测试技术期终作业报告题目:MEMS传感器技术学生:陈科尹学 号:2011110002学科专业:农业电气化与自动化学院年级:工程学院 2011级 任课教师:刘洪山华南农业大学工程学院2011年12月27日MEMS传感器技术工程学院 陈科尹:2011110002内容提要MEMS的基本介绍MEMS
压磁传感器 简介一.电路图 阻流圈式传感器结构原理图 电路分析 图4.1是阻流圈式传感器结构图阻流圈式传感器只有一个线圈该线圈既作电源线圈也可以作测量输出线圈给线圈通以交流电铁芯在外力F的作用下磁导率发生变化 磁阻和磁通也相应地发生变化从而使线圈的阻抗发生了变化这个变化可以用多种方法检测阻流圈式传感器可用来测量或控制压力例如用来做传送带运送物料的自动称重系统矿井起重载荷的安全设备铁路轨道接
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 .nuc.edu第15章 MEMS传感器 15.1 概 述 15.2 MEMS传感器分类 15.3 MEMS加速度计
MEMS传感器的封装【来源:《电子工业专用设备》】【:】【时间: 2006-8-9 9:40:32】【点击: 299】1 引言MEMS作为21世纪的前沿高科技在产业化道路上已经发展了20多年今天MEMS产品由于其具有大批量生产低成本和高性能等特点已经有了很大的市场早期的封装技术大多数是借用半导体集成IC领域中现成的封装工艺MEMS产品中由于各类产品的使用范围和应用环境的差异其封装也没有一
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