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  第五节 电子磷酸概述 磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级工业级食品级药用级试剂级电子级等级别电子级磷酸属于高纯磷酸广泛用于大规模集成电路薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业主要用于芯片的清洗和蚀刻其纯度和洁净度对电子元器件的成品率电性能及可靠性有很大影响纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐也是高

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  电子级磷酸及其市场摘要：随着我国微电子和面板产业的高速发展世界上许多著名IC晶体圆代工半导体封装以及LEDTFT-LCD大型企业在中国建厂电子化学品的需求逐渐增大预计2010年中国对电子级磷酸市场需求量将会达到15万－16万吨每年整个电子化学品市场预计超过80亿美元年增长率近20世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8以上而电子级磷酸的性能优良已是电子工业重要的化学品之一1.电子级磷酸简介磷

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  表 3 不同等级磷酸杂质要求工业级食品级色度≤40≤20砷(以As计)质量分数≤0.01≤0.0001氯化物(以Cl计)质量分数≤0.001≤0.0005氟(以F计)质量分数≤0.001重金属(以Pb计)质量分数≤0.05≤0.001注参考GB3149-92和GBT1282-1996高纯磷酸产品属于微电子化学品垄断产品之一目前国外如美国日本德国的电子级磷酸均已有工业化生产但由于技术保密其产品

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  试剂名称(Product Name) Cas号 分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein 磷酸电子级磷酸 Phosphate standard concentrate 性状无色无臭粘稠液体溶于水及醇纯品磷酸为无色斜方晶体富潮解性溶于水和乙醇其酸性较硫酸盐酸和硝酸等强酸为弱但较醋酸硼酸等弱酸为强能刺激

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  本发明涉及一种熔融结晶法制备电子级磷酸的方法包括以下步骤：工业级磷酸经过初步除砷然后挂晶膜后结晶管升温至-210℃通2128℃的磷酸入结晶器循环让晶层生长至24cm保持结晶管的温度静置1525分钟后以25℃h的升温速率使结晶管的温度升高熔化晶层质量为原先晶层质量的1040时停止用温度在磷酸半水晶体熔点附近的清洗液酸清洗晶层经过结晶和发汗阶段后可以得到合格电子级磷酸再经清洗阶段后可以得到达到F

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