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  5 高真空的获得和检漏：张弢：pb06210013 班级：0611实验目的：学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空，用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点。实验原理：1 高真空的测量电离真空规对于一定结构的规管，当各电极电位一定时，对某种气体，在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p，即I+=KIep电离计的灵敏度K的值可以通过实验测得在实际测量中,

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  高真空下的漏率测量其t-P图线如下：作线性拟合，得到：Y = A + B * XParameterValueErrorA-333162120386B025078002735RSDNP0925882521541600001由图线可知，在一开始气压变化较慢，主要是惯性导致的气压的不稳定（仪器本身较旧，4号机器），约在25s开始持续（稳定）地漏气，而放气达到可以忽略不计的程度。由公式得：误差为：所以：

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  高真空的获得和检漏赵媛PB0621026310系实验目的:1．学习用机械泵，扩散泵机组获得高真空。2．学会用静态升压法检漏。实验原理:(见预习报告)实验装置如下图：实验步骤:开总电源，低阀拉出，开机械泵，抽钟罩。打开复合真空计电源，接通热偶计，对钟罩内抽至13Pa。接通扩散泵冷却水，低阀推进抽系统，开扩散泵加热，40分钟后开高阀。待真空度超过013Pa时，开电离计，低真空转至扩散泵前级测量。抽

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