Click to edit the title text formatClick to edit the outline text formatSecond Outline LevelThird Outline LevelFourth Outline LevelFifth Outline LevelSixth Outline LevelSeventh Outline LevelEighth Out
Click DIFFUSION DIFFUSIONDIFFUSION FROM SPHERESADSORPTIONREACTIONS
DIFFUSION AP
单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级天津工业大学单击此处编辑母版标题样式Chap.3 扩散(Diffusion)杂质掺杂Impurity doping扩散(Diffusion)通过高温扩散的方式杂质原子通过气相源或掺杂过的氧化物扩散或淀积到硅片表面并进一步扩散到体内形成掺杂离子注入(Ion implantation)杂质原子以离子束的形式注入到硅片内形成掺杂将可控制数量的杂质掺入到半导
1026
DEPI
#
#
Inference for
Institutional Bar
违法有害信息,请在下方选择原因提交举报