北京化工大学第九届“萌芽杯”参赛作品A类 (序号:65)北京化工大学第九届“萌芽杯”参赛作品A类作品名称:电沉积法制备硫锡半导体纳米晶体类别(综述类/实验类): A实验类指导教师:王峰负 责 人:林柯桦: 2013年6月3日团队成员及指导老师介绍指导老师介绍:姓 名王峰所属学院材料科学与工程学院职 称教授研究方向新型纳米碳材料团队成员介绍:姓 名林柯桦所属学院材
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半导体晶片定位(物理气体沉淀)目的 ???安全控制和保持半导体晶片精确的排列在物理气体沉淀形成的空间内????避免晶圆在晶腔很小的入口处由于排列不整齐引起的破损 ?? 确保材料层在晶圆的均匀沉积 ?解决方案 ?? 在PVD系统内晶圆片被转移进一些腔室内每一个腔室沉淀一种不同的物质传感器探头被固定在接受沉淀的腔室内(如图1)每一个探头测量晶圆片进入腔室内的结束位置 ?? KAMAN系统提供了模拟输出
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第33卷第4期
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发布200×-××-××发布200×-××-××实施中华人民共和国国家质量技术监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会 半导体单晶晶向测定方法Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal方法A X射线衍射定向法方法B 光图定向法(讨论稿)GBT 1555—200×代替GBT
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