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    单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 电容式传感器是以各种类型的电容器作为敏感元件将被测物理量的变化转换为电容量的变化再由转换电路(测量电路)转换为电压电流或频率以达到检测的目的 广泛应用于位移压力厚度物位湿度震动转速流量等方面测量 工作原理 测量电路 应 用EXIT电容式传感器 工作原理由两平行极板组成一个电容器若忽视其边缘效应电容量表示为:dA?改

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    图5-5 变面积型电容传感器原理图 弹性膜片(动电极)PH需要解决的问题是:中心膜片处于平直状态时C0=C(d0)=当PH>PL模片上凸hmax时CA=C(h)=b利用脉宽调制电路将中心膜片接地其输出U0 弹性体定极板1振动右图为用于测量非导电介质的同轴双层电极电容式液位计内电极和与之绝缘的同轴金属套组成电容的两极外电极上开有很多流通孔使液体流入极板间 12-内外电极 3-绝缘套 4-流通孔

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    电容式传感器的类型和特性电容式传感器可分为三种:变极板间距离的变极距型改变极板面积的变面积型改变介质介电常数的变介质型 其中变极距型和变面积型应用较广 比较可以看出差动式电容传感器不仅使灵敏度提高一倍而且非线性误差也大大减小了 2.变面积型电容传感器 变面积型电容传感器的原理如图所示与变极距型相比它们的测量围大可测较大的线位移或角位移(l分至几十度)原理如图所示:当被测量变化使动片有一角位移

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    2542023初始时:一般的变极板间距传感器中c20100pf d25200um△d210um主要应用于微位移的测量由此可得出非线性误差c2d2二变面积型电容传感器542023d为极间距离动极板转动Δα后d为极间距离动极板转动Δα后20B22542023

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