第 ;( 卷 第 !$ 期 #$$)
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第 15 卷第 11期
第 28 卷第 4 期
第 56 卷 第 3 期 2007 年
Film DepositionDe
第l4 卷第5 期
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doi:热处理对LaMnO3薄膜结构成分和电阻率的影响席博a张国庆a罗永春ab(兰州理工大学a 材料学院b 有色金属先进加工与再利用省部共建国家重点实验室兰州 730050)摘要:用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上沉积了钙钛矿型LaMnO3氧化物薄膜系统研究了热处理对LaMnO3薄膜材料的相结构组织成分表面形貌电阻率等的影响结果显示热处理温度在700 ℃以下LaMnO3为非晶态而高于1
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