第8章 薄膜传感器严格地说薄膜是指附于基体(又称衬底)上,厚度的上、下限有限制的一类薄层材料,与基体在组分或结构等方面存在着差异。一些研究者曾提出了这个限制,认为厚度为01~10,000nm这个范围对于绝大多数材料来说是合适的。81 薄膜的测量与分析811 薄膜的方块电阻图8-1 膜层电阻图8-2 方块电阻的测量812 薄膜的附着力⒈拉脱法用粘接剂或焊料把杆状零件粘接在薄膜表面后,借助拉力试验机对
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本章内容:基本概念;气敏半导体式传感器及其应用;湿敏半导体式传感器及其应用;色敏半导体式传感器及其应用。要求:掌握各式半导体传感器的基本原理;了解各式半导体传感器的应用。第8章半导体式传感器81引言一、敏感材料-半导体。利用半导体材料的物理效应,把被测物理量的变化转换为电信号,制作成各种半导体传感器。二、优点1、结构简单、微型化;2、灵敏度高,动态性能好,输出为电物理量;3、易实现集成化、智能化;
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级JIANG HAN UNI传感器原理及工程应用第8章 光电式传感器 第8章 光电式传感器 本章基本要求:了解光电池光电式传感器的应用理解光电管光电倍增管CCD图像传感器重点掌握光电效应的三种类型光敏电阻光敏晶体管 8.1 光电式传感器组成及工作原理敏感元件:光电元件参数变化过程:非电量->光信号->光电元件->电信
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级 感应式磁敏传感器是以天然场或人工场为场源根据法拉第电磁感应原理采用某些特殊技术研制成的测磁装置可用于测量交变场中磁场变化率 感应式磁传感器一般有空气芯和铁芯两种早期使用的磁传感器都是空气芯的目前使用传感器的铁芯有铁氧体铁芯坡莫合金铁芯和非晶态铁芯第四节 感应式磁敏传感器1 一感应式磁敏传感器的物理基础 法拉第
传感技术热电偶热电阻图8-2 热电效应1.热电偶必须采用两种不同的材料作为热电极2.如果热电偶两结点温度相同即T=T0则尽管导体AB的材料不同热电偶回路中的总电动势也为零3.热电偶AB的热电动势与AB材料的中间温度无关只与结点温度有关 当结点温度为TT0时用导体A B组成的热电偶的热电动势等于AC 热电偶和C B热电偶的热电动势的代数和即
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经典情况 薄膜厚度 < 电子平均自由程用Boltzmann方程讨论电输运问题考虑界面散射的影响—Boltzmann方程边界条件对界面散射的理论模型和实验研究 确定分布函数f(k)可直接计算电流密度j确定分布函数所依赖的物理基础在电场存在情况与欧姆定律的主要物理基础一致:? 电子在电场作用下的定向加速运动? 电子由于碰撞失去定向运动——散射 用分布函数来研究输运过程
溅射薄膜压阻式压力传感器德国HELM HM23Y :
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