7 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率赵龙宇 PB06005068椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换 椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测
7 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换 椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。结合计算机后,具有可手动
7 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换 椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。结合计算机后,具有可手动
\* MERGEFORMAT 3 椭偏仪 童力PB05210381实验目的,实验原理:详见实验预习报实验内容:1、调节载物台水平、光路共轴;2、定位起偏器、检偏器、调整偏振片;3、本次实验选取的是4号样本,其中膜厚度理论值:d=440nm折射率理论值:n=20将待测样品放置在载物台,调整望远镜筒至320o,开始测量:(1)将波片于起偏器的夹角调整至45o,测得光线最暗时检偏器和起偏器的角度,
实验报告:崔泽汉 :PB05210079系别:05006实验题目:椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率实验目的:本实验采用简易的椭圆偏振仪,利用传统的消光法测量椭偏参数,使学生掌握椭偏光法的基本原理、仪器的使用,并且实际测量玻璃衬底上薄膜的厚度和折射律。实验数据:1/4波片快轴置于时,1/4波片快轴置于时,由计算机程序算得:薄膜厚度d=5682nm,折射律n=210;(标定值为d=6
实验一、 椭偏仪PB06203104李绍富 在前面的实验原理里面已经得到如下公式, =这时需测四个量,即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及反射光中的两分量振幅比和相位差,如设法使入射光为等幅椭偏光,即:,则;对于相位角,有:因此只要把反射光调为线偏光,即=0或,则有或,可见只与反射光的p波和s波的相位差有关,可从起偏器的方位角算出。对于特定的膜, 是定值,只要改变入射光两分量的相位差,肯定
4 实验报告:张弢 :PB06210013系别:0611实验题目:椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的:1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法使用仪器:椭偏仪平台及配件、He-Ne激光器及电源、起偏器、检偏器、四分之一波片等实验原理在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角。如图
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率03系04级 龚晓李 PB042060022006年4月21日一、实验目的1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法二、使用仪器 椭偏仪平台及配件 、He-Ne激光器及电源 、起偏器 、检偏器 、四分之一波片、黑色反光镜、薄膜样品。三、实验原理1、基本思想:一束椭圆偏振光以一定的入射角入射到薄膜系统的表面,测量出反射光束偏振状态(振幅和相位)的变化
#
6 实验报告19系 04级 王承乐日期060512评分实验题目:椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的: 1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法实验原理: 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-
违法有害信息,请在下方选择原因提交举报