第21卷 第 1期
第31卷第 3期
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万方数据
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压缩机的技术现状及其发展趋势一前言 t _blank 压缩机是用来提高气体压力和输送气体的机械属于将原动机的动力能转变为气体压力能的工作机它的种类多用途广有通用机械之称目前除了活塞式 t _blank 压缩机其他各类 t _blank 压缩机机型如离心式双螺杆式滚动转子式和涡旋式等均被有效地开发和利用为用户在机型的选择上提供了更多的可能性随着经济的高速发展我国的 t
扩散炉的现状与展望一 概述 j4 j- p7 T4 U进入21世纪电子信息产业的持续高速发展激励和带动了集成电路产业的发展这就为微电子产业发展提供了空前广阔的发展空间也为半导体专用设备提供了巨大的市场潜力( K [8 B??`从微电子行业发展看半导体器件设计向高密度高集成度的方向迅速发展对半导体集成电路新工艺新技术新设备提出了越来越高的要求当前硅片的尺寸由直径150mm发展到300mm超大规模集
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