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溅射薄膜压阻式压力传感器德国HELM HM23Y :
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第 37 卷第5 期
艾动
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第8章 薄膜传感器严格地说薄膜是指附于基体(又称衬底)上,厚度的上、下限有限制的一类薄层材料,与基体在组分或结构等方面存在着差异。一些研究者曾提出了这个限制,认为厚度为01~10,000nm这个范围对于绝大多数材料来说是合适的。81 薄膜的测量与分析811 薄膜的方块电阻图8-1 膜层电阻图8-2 方块电阻的测量812 薄膜的附着力⒈拉脱法用粘接剂或焊料把杆状零件粘接在薄膜表面后,借助拉力试验机对
压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器单晶硅材料在受到力的作用后电阻率发生变化通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出压阻式传感器用于压力拉力压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位加速度重量应变流量真空度)的测量和控制(见加速度计) 压阻效应 当力作用于硅晶体时晶体的晶格产生变形使载流子从一个能谷向另一个能谷散射引起载流子的迁移率发生变化扰动了载
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