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第!卷!第#期
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第 27 卷 第5 期
广州致远电子股份有限
《电气应用》!#年第!$卷第%期
3790 2009,30(1
万方数据
第 5 卷 第 2 期
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级SOI光电子集成技术1)SOI2)光电子集成电路3) SOI集成光电子器件SOI(Silicon-On-Insulator绝缘衬底上的硅)技术是在顶层硅和背衬底之间引入了一层氧化层通过在绝缘体上形成半导体薄膜SOI材料具有了体硅所无法比拟的优点:可以实现集成电路中元器件的介质隔离彻底消除了体硅CMOS电路中的寄生闩锁效应采用这
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