第!卷!第#期
X射线探测、成像及应用专题
高分辨率软
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射线光
电子探针X射线微区分析电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面并根据微区内所发射出X射线的波长( 或能量)和强度进行定性和定量分析的方法电子探针工作原理 电子探针(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主要功能是进行微区成分分析它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发
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