半导体晶片定位(物理气体沉淀)目的 ???安全控制和保持半导体晶片精确的排列在物理气体沉淀形成的空间内????避免晶圆在晶腔很小的入口处由于排列不整齐引起的破损 ?? 确保材料层在晶圆的均匀沉积 ?解决方案 ?? 在PVD系统内晶圆片被转移进一些腔室内每一个腔室沉淀一种不同的物质传感器探头被固定在接受沉淀的腔室内(如图1)每一个探头测量晶圆片进入腔室内的结束位置 ?? KAMAN系统提供了模拟输出
发布200×-××-××发布200×-××-××实施中华人民共和国国家质量技术监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会 半导体单晶晶向测定方法Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal方法A X射线衍射定向法方法B 光图定向法(讨论稿)GBT 1555—200×代替GBT
【实验内容】 1.熟悉激光晶轴定向仪的使用方法,并首先对激光晶轴定向仪进行调整。 2.观察被测单晶的外形特征,初步判别晶体的大致取向。 3.对单晶样品进行研磨、腐蚀处理,在晶向显微镜下观察不同单晶 111)、(100)晶向腐蚀坑形状。 4.把被测样品粘在夹具上,用定向仪测量。测定接近111及100晶向的硅单晶端面的偏离度。注意考察光图与腐蚀坑形状之间的关系。 5.确定 111单晶的(100)面
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§ 非平衡载流子的注入与复合Injection and Rbination of Carriers(3)小注入条件: 当非平衡载流子浓度△n 和△p 远远小于多子浓度时称为小注入条件EC1非平衡载流子的寿命t半导体 非平衡态的电子与空穴各自处于热平衡态 则即EVUd = r (n0 p0)△p r (△p)2讨 论EC间接复合的四个过程甲-俘获电子乙-发射电子丙-俘获
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级电子科技大学 微电子固体电子学院半导体物理学祝远锋Semiconductor Physics课程任务 阐述半导体物理的基础理论和半导体的主要性质以适应后续专业课程的学习 教材:《半导体物理学》(第7版)刘恩科等 电子工业出版社 参考:《半导体物理学》上册 叶良修编 《半导体物理学》 顾祖毅编《Physics o
单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式School of Microelectronics半导体物理SEMICONDUCTOR PHYSICS 西安电子科技大学微电子学院 第一章 半导体晶体结构和缺陷1.1 半导体的晶体结构1.2 晶体的晶向与晶面1.3 半导体中的缺陷绪 论什么是半导体按不同的标准有不同的分类方式按固体的导电能力区分可以区分为导体半导体和绝
平衡态或热平衡是指没有外部作用如电压电场磁场温度梯度等作用在半导体上处于平衡态的半导体的各种性质不随时间变化此时体系的状态用Fermi-Dirac分布描述加入掺杂原子后将改变电子在各能态上的分布因此费米能Ef是搀杂原子的类型和浓度的函数对于本征半导体T=0K时导带全满价带全空 Ef位于Ec与Ev之间的某处(Ef不一定要处于允许占据的能级上)NEC 130nm CMOSThermal motionT
●迁移率和电导率随温度和杂质浓度的变化 漂移运动:载流子在电场力作用下的运动 漂移速度:载流子定向漂移运动的速度E 为电场强度Vdndt电子漂移的电流密度 Jn 为 上式为电导率和迁移率的关系对 p 型半导体 : 补偿型:po=NA-NDz-在〔111〕方向 与z轴夹角为θx′→电离杂质散射示意图V?横金刚石晶格振动沿[110] 方向传播的格波的频率与波矢的关系○平衡时??1?→A
非晶态半导体 具有半导体性子的非晶态材料非晶态半导体是半导体的一个重要部门50年代.科洛米耶茨等人开始了对硫系玻璃的研究当时很少有人注重直至1968年.奥弗申斯基有关用硫系薄膜建造开关器件的专利发表往后才导致许多人对非晶态半导体的兴趣1975年.斯皮尔等人在硅烷辉光放电分化制备的非晶硅中实现了掺杂效应使节制电导和制造PN结成为可能从而为非晶硅材料的应用斥地了广漠的远景在理论方面.安德森和
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