一名词解释(1)化学气相沉积:化学气体或蒸气和晶圆表面的固体产生反应在表面上以薄膜形式产生固态的副产品其它的副产品是挥发性的会从表面离开(2)物理气相沉积:物理气相沉积 通常指满意下面三个步骤的一类薄膜生长技术: a.所生长的材料以物理的方式由固体转化为气体b.生长材料的蒸汽经过一个低压区域到达衬底c.蒸汽在衬底表面上凝聚形成薄膜(3)溅射镀膜:溅射镀膜是利用电场对辉光放电过程中产生出来
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毕业设计(论文)专 业 班 次 姓 名 指导老师 成都信息工程学院 二零零九年六月Created with an evaluation copy of Aspose.Words. To discover the full versions of our APIs please visit: :products.asposewords
深圳大学期末考试特殊考试方式电子科学与技术学院集成电路工艺原理期末成绩考核报告::深圳大学考试答题纸(以论文报告等形式考核专用)二○一四二○一五学年度第 一 学期课程编号1600730001课程名称集成电路工艺原理主讲教师杨靖评分学 号姓 名专业年级微电子2012级-12班教师评语:要 求本报告(作业)必须是完全独立完成没有抄袭或节选选本课程其他同学的作业如果确认是抄袭(
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