5 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的:1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法实验原理:在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1)介质n1 界面1薄膜n2界面2衬底n3 图 1-1这里我们用2表示
4 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的:1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法实验原理:在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1)介质n1 界面1薄膜n2界面2衬底n3 图 1-1这里我们用2表示
5 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验目的:1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法实验原理:在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1)介质n1 界面1薄膜n2界面2衬底n3 图 1-1这里我们用2表示
椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率Pb04210109 仲海兵 0406实验目的:1了解椭偏仪测量薄膜参数的原理。2初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。实验原理:设介质层折射率分别为n1、n2、n3,φ1为入射角,在界面1和界面2处会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1):介质n1界面1薄膜n2衬底n3 界面2 图 1-1用2表示相邻两分波的相位差,其中=,用r1p、r1s表示光线的p
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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率近代科学技术中对各种薄膜的研究和应用日益广泛因此能够更加迅速和精确地测量薄膜的光学参数例如厚度和折射率已变得非常迫切在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数如布儒斯特角法测介质膜的折射率干涉法测膜另外还有称重法X射线法电容法椭偏法等等其中椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透
椭偏仪蒋成龙PB05210441 \* MERGEFORMAT 3 实验报告 5-实验报告结构: \l _实验原理实验原理 \l _实验内容实验内容 \l _误差分析误差分析 \l _思考题思考题 \l _实验小结实验小结实验原理详见实验预习报告实验内容1、调节载物台水平、光路共轴;2、定位起偏器、检偏器、调整偏振片;3、本次实验选取的是6号样本,其中膜厚度理论值:d0=580nm折射
实验报告6系04级 李季 PB04210049实验题目: 椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射率实验目的: 了解椭偏仪测量薄膜参数的原理,初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。实验原理:椭圆偏振光经薄膜系统反射后,偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关,因此只要测量出偏振状态的变化量,就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数描述椭圆偏振光的P波和S波间的相位差经薄膜系统关系后发生的变化,描
实验报告:椭偏仪测量薄膜厚度和折射率张贺 PB07210001一、实验题目:椭偏仪测量薄膜厚度和折射率二、实验目的:1、椭偏仪测量薄膜参数的原理2、初步掌握反射型椭偏仪的使用方法三、实验原理:在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如
6 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换 椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。结合计算机后,具有可手动
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