真空镀膜中频感应加热技术方案需方要求真空镀膜电源我厂提供的电源技术说明:电源选型KGPS—75KW8000Hz可控硅真空感应镀膜电源电源柜外型选用GDD柜体长×厚×高=1400×1000×2000 电源柜 电源柜仪表为:直流电压表直流电流表中频电压表功率表1功率表2功率表3电源主要技术指标:KGPS—75KW8000Hz 真空熔化电源输入电压:3×
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先进磁控溅射真空镀膜技术及专用设备 研发中心以先进磁控溅射为核心可为客户量身定制磁控溅射连续式自动生产线生产型磁控溅射旋转靶单机科研型多靶多功能磁控溅射仪等专属产品应用领域包含但不限于压电滤波器石英晶振电磁屏蔽贴片电感磁芯敏感陶瓷元器件通信基站高Q腔体滤波器薄膜电路蜂鸣器先进电路印制板等 中心主推的电子陶瓷磁控溅射金属化技术与传统的电镀丝印—烧结真空蒸发等金属化工艺相比具有显著的节能
特 点沉积速率高离化率高设备操作简单成本低生产量大偏压作用下等离子体密度均匀和反应活性稳定性价比高镀膜工艺稳定生产效率高工艺成本低液镀出的膜层具有耐磨损抗腐蚀耐高温色泽均匀附着力好且不易褪色四有偿售后服务收费标准 1佛欣真空对首次服务客户提供一次免费的安装调试及人员的培训服务保修期内如出现人为或者不按正常操作使用下佛欣真空会按规定适当收取一定人工费及配件费用
磁控溅射镀膜机技术要求设备用途能够进行磁控溅射蒸发基片台可用射频电源加负偏压对基片进行反溅清洗活化辅助溅射功能该设备主要用来开发纳米级导电膜半导体膜绝缘膜以及镍钴磁性膜等主要技术指标真空腔室304优质不锈钢真空腔室上开盖结构观察窗1套真空系统涡轮分子泵直联旋片泵准无油真空系统数显复合真空计真空极限优于×10-5 Pa抽速从大气抽至×10-3 Pa ≤ 15min基片台尺寸最大可镀基片尺寸面积
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级真空镀膜2005年上学期期末实验论文物理学院:王飞一镀膜技术的历史 保护膜化学镀膜 1817年减反射膜 1930年出现了油扩散泵-机械泵抽气系统 (条件)
マスタ タイトルの書式設定表二-氧化物比蒸發物更易揮發 鍍金屬時我們要鍍的金屬就會被氧化物汙染舉例說明:氧化鎢比鎢容易蒸發這時就要在基板前先以遮板擋住先加熱把氧化鎢蒸發掉再移開遮板鍍鎢其他還有如GeOSiO氧化物在高溫分解金屬能夠擴散通過氧化 在900℃時鉻可以通過氧化不受影響但在高溫時則是會受到影響的因此通常鍍金屬都是要快速進行以免受氧化作用絲形(Filamen
Film DepositionCathodeMaterial物理氣相沈積--PVD(Physical Vapor Deposition) 化學氣相沈積CVD (Chemical Vapor Deposition)真空電鍍簡介Vacuum chamber蒸鍍(Evaporation)原理Material藉由外加的電場能量來促使氣體內的電子獲得能量並加速撞擊不帶電中性粒子由於不帶電中性粒子受加速電子的
真空镀膜真空镀膜200520
第二讲:真空物理基础(上)?:张世伟 2对于任何一种真空产品或一项真空工艺都有着专门的物理知识作为其工作原理的基础但本次讲座所要介绍的仅仅是那些在真空行业的各个领域中都会经常遇到的最基本的物理知识主要包括气体及蒸汽的性质及其内部各种动力过程的规律(空间过程)气体与固体间的作用规律(器壁过程)以及气体流动的规律限于篇幅每个方面只能作简单的介绍 一理想气体定律????首先应该说明本节及以后几
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