高真空的检漏与获得0406 PB04210109 仲海兵 060320实验目的:1、用机械泵、扩散泵机组获得高真空 2、用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特点实验原理: 1、 高真空的测量电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N+正比于压强p规管的结构如图263-l所示,它
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5 高真空的获得和检漏:张弢:pb06210013 班级:0611实验目的:学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并对比两种方法的特点。实验原理:1 高真空的测量电离真空规对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p,即I+=KIep电离计的灵敏度K的值可以通过实验测得在实际测量中,
高真空下的漏率测量其t-P图线如下:作线性拟合,得到:Y = A + B * XParameterValueErrorA-333162120386B025078002735RSDNP0925882521541600001由图线可知,在一开始气压变化较慢,主要是惯性导致的气压的不稳定(仪器本身较旧,4号机器),约在25s开始持续(稳定)地漏气,而放气达到可以忽略不计的程度。由公式得:误差为:所以:
实 验 报 告 评分:4+ 6 系 04 级 王奎日期:2006-5-15 PB04210486实验题目:高真空的获得和检漏试验目的:学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空。用静态升压法检漏。试验原理:1、高真空的测量电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N+正比于压强p规管的结
实 验 报 告 评分:4+ 6 系 04 级 王奎日期:2006-5-15 PB04210486实验题目:高真空的获得和检漏试验目的:学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空。用静态升压法检漏。试验原理:1、高真空的测量电离真空规具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离产生正离子和电子,电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N+正比于压强p规管的结
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高真空的获得和检漏赵媛PB0621026310系实验目的:1.学习用机械泵,扩散泵机组获得高真空。2.学会用静态升压法检漏。实验原理:(见预习报告)实验装置如下图:实验步骤:开总电源,低阀拉出,开机械泵,抽钟罩。打开复合真空计电源,接通热偶计,对钟罩内抽至13Pa。接通扩散泵冷却水,低阀推进抽系统,开扩散泵加热,40分钟后开高阀。待真空度超过013Pa时,开电离计,低真空转至扩散泵前级测量。抽
高真空的获得和检漏 25赵媛PB0621026310系实验目的:1.学习用机械泵,扩散泵机组获得高真空。2.学会用静态升压法检漏。实验原理:(见预习报告)实验装置如下图:实验步骤:开总电源,低阀拉出,开机械泵,抽钟罩。打开复合真空计电源,接通热偶计,对钟罩内抽至13Pa。接通扩散泵冷却水,低阀推进抽系统,开扩散泵加热,40分钟后开高阀。待真空度超过013Pa时,开电离计,低真空转至扩散泵前级测量
第 7页 高真空的获得和检漏前言在真空技术中,检漏技术巳成为一项很重要的内容从17世纪获得真空以来,这300多年可以说是真空工向漏气作斗争的历史漏气是真空的大敌由于漏气而产生的问题是十分严重的,它引起真空变差,使真空处理物质变坏、原子能放射逸出、锅炉出现事故、电工电子产品性能降低或报废、制冷设备制冷效果变差或根本不制冷……总之,检漏技术与很多领域息息相关在半导体、电力、制冷、航空航天、原子
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