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第19 卷第 11 期
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第 20 卷第 3 期
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级半导体制造工艺流程半导体相关知识本征材料:纯硅 9-10个9 250000Ω.cmN型硅: 掺入V族元素--磷P砷As锑SbP型硅: 掺入 III族元素—镓Ga硼BPN结:NP------半 导体元件制造过程可分为前段(Front End)制程 晶圆处理制程(Wafer Fa
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级半导体制造工艺流程半导体相关知识本征材料:纯硅 9-10个9 250000Ω.cmN型硅: 掺入V族元素--磷P砷As锑SbP型硅: 掺入 III族元素—镓Ga硼BPN结:NP------半 导体元件制造过程可分为前段(Front End)制程 晶圆处理制程(Wafer Fa
南昌大学
西安理工大学
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