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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第二节 压阻式传感器2.2.1 半导体的压阻效应2.2.2 体型半导体应变片2.2.3 扩散型压阻式压力传感器2.2.4 压阻式加速度传感器2.2.5 测量桥路及温度补偿下一页返 回2.2.1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后电阻率就要发生变化这种效应称为压阻效应 半导体材料的压阻效应特别强 压阻式传感器
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压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器单晶硅材料在受到力的作用后电阻率发生变化通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出压阻式传感器用于压力拉力压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位加速度重量应变流量真空度)的测量和控制(见加速度计) 压阻效应 当力作用于硅晶体时晶体的晶格产生变形使载流子从一个能谷向另一个能谷散射引起载流子的迁移率发生变化扰动了载
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返 回返 回返 回压阻式压力传感器结构简图1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片返 回上一页质量块下一页R2串联电阻Rs起调零作用并联电阻RP起补偿作用 p1进气管 压阻式固态压力传感器 h=h0h1=h0p1 (?g)
半导体压阻式传感器 1 基本原理半导体压阻式传感器是利用半导体的压阻效应,即其电阻率随应力变化的性质所制成的压力传感器。 11 特点及应用范围利用硅的压阻效应和集成电路技术制成的传感器具有灵敏度高、动态响应快、测量准确度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型化和批量生产的特点。广泛地应用于航空、化工、航海、动力和医疗等部门。 12 制作方法(1)硅压力传感器可以通过在单晶硅切片上加装电极并粘贴在弹
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