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    传感器原理与应用——第四章L1 高频(>lMHz)激励电流产生的高频磁场作用于金属板的表面由于集肤效应在金属板表面将形成涡电流与此同时该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈引起线圈自感L或阻抗ZL的变化线圈自感L或阻抗ZL的变化与距离该金属板的电阻率ρ磁导率μ激励电流i及角频率ω等有关若只改变距离δ而保持其它参数不变则可将位移的变化转换为线圈自感的变化通过测量电路转换为电压输出高频反射式涡流

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    2δs1sΔδ非线性误差:1衔铁上移Δδ时上传感器气隙δ-Δδ下传感器气隙δΔδδ物理基础:变压器的互感原理测量对象:位移及其相关量Es1M151RS2Es与互感之差成线性关系LS1有效值 谐振式调幅电路3132023-xL272829Jo1用途:位移厚度无损探伤高精度动态非接触测量32M求线圈等效阻抗35L1C1晶体振荡器x1鉴频器 低频透射式涡流传感器42Zx31320233132023313

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    缺点互感式传感器线圈自感:4(i)当衔铁下移:L当=d-7δL1±AmN初始电感:542023542023wM1实际特性曲线21

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