溅射薄膜压阻式压力传感器德国HELM HM23Y :
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压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器单晶硅材料在受到力的作用后电阻率发生变化通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出压阻式传感器用于压力拉力压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位加速度重量应变流量真空度)的测量和控制(见加速度计) 压阻效应 当力作用于硅晶体时晶体的晶格产生变形使载流子从一个能谷向另一个能谷散射引起载流子的迁移率发生变化扰动了载
电阻应变式压力传感器结构、工作原理: 年级: 专业: :电阻应变式传感器结构电阻应变式传感器有由弹性敏感元件与电阻应变片构成。其中弹性敏感元件在感受被测量是将产生形变,其表面产生应变,而粘贴在弹性敏感元件表面的电阻应变片将随着弹性敏感元件产生应变,传感器中的电阻应变片具有金属的应变效应,即在外力作用下产生机械形变,从而使电阻值随之发生相应的变化。在平膜片圆心处切向粘贴R1、R4两个应变
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课 程 设 计 课程名称 传感器设计与实践 题目名称 电阻应变式压力传感器 及转换电路设计学生学院 信息工程学院 专业班级 学 号 学生 指导教师 2015年1月23日广东工业大学课程设计任务书传感器设计与实践之二题目名称应变式荷重传感器及转换电路设计学生学院
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第二节 压阻式传感器2.2.1 半导体的压阻效应2.2.2 体型半导体应变片2.2.3 扩散型压阻式压力传感器2.2.4 压阻式加速度传感器2.2.5 测量桥路及温度补偿下一页返 回2.2.1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后电阻率就要发生变化这种效应称为压阻效应 半导体材料的压阻效应特别强 压阻式传感器
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