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半导体材料制备.ppt
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级第十一章 半导体材料制备生长技术体单晶生长技术 单晶生长通常利用籽晶在熔融高温炉里拉伸得到的体材料 半导体硅的单晶生长可以获得电子级(99.999999)的单晶硅 外延生长技术 外延指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术 新生单晶层的晶向取决于衬底由衬底向外延伸而成故称外延层晶体生长问题生长热力学生长动力学生长系
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