Page Page 1III族氮化物半导体照明LED制程Page 2二III族氮化物LED的基础制程衬底材料生长LED结构MOCVD生长芯片工艺芯片切割器件封装Sapphire蓝宝石 2-inchPage 3MOCVD外延生长氮化物LED结构SQWMQWTS-CCS MOCVD可以同时外延生长19片高质量的蓝绿光LED外延片19片式MOCVD反应室InGaNGaN改变MQW中InGaN