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汽车MEMS压力传感器的研究与应用-肖沛宏.doc
汽车用MEMS压力传感器的研制及应用肖沛宏 东风襄樊仪表系统有限2006-12-20摘要：本文介绍了采用扩散硅压力芯片和MEMS封装技术研制汽车压力传感器的过程项目研制的重点在于对应变压阻芯片的力学特性封装技术引线键合的特点及难点信号调制等关键应用技术领域的分析研究试验验证等通过对应用产品的试验验证证实本项目成果满足设计和应用的要求产品达到国内同类产品的领先水平关键词 微电机系统压
日期：2022-04-17 格式：.docx 页数：9页 大小：2.83MB 发布：
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