单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级School of Microelectronics半导体物理SEMICONDUCTOR PHYSICS 西安电子科技大学微电子学院第四章 半导体中载流子的输运现象4.1 载流子的漂移运动与迁移率4.2 半导体中的主要散射机构 迁移率与平均自由时间的关系4.3 半导体的迁移率电阻率与杂质浓度和温度的关系4.4 载流子
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级School of Microelectronics半导体物理SEMICONDUCTOR PHYSICS西安电子科技大学微电子学院第二章 半导体的能带与杂质能级2.1 半导体中电子共有化运动与能带2.2 半导体中的电子的E(k)k关系 有效质量和 k空间等能面2.3 SiGe和GaAs的能带结构2.4
单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级单击此处编辑母版标题样式School of Microelectronics半导体物理SEMICONDUCTOR PHYSICS 西安电子科技大学微电子学院 第一章 半导体晶体结构和缺陷1.1 半导体的晶体结构1.2 晶体的晶向与晶面1.3 半导体中的缺陷绪 论什么是半导体按不同的标准有不同的分类方式按固体的导电能力区分可以区分为导体半导体和绝
§ 非平衡载流子的注入与复合Injection and Rbination of Carriers(3)小注入条件: 当非平衡载流子浓度△n 和△p 远远小于多子浓度时称为小注入条件EC1非平衡载流子的寿命t半导体 非平衡态的电子与空穴各自处于热平衡态 则即EVUd = r (n0 p0)△p r (△p)2讨 论EC间接复合的四个过程甲-俘获电子乙-发射电子丙-俘获
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级电子科技大学 微电子固体电子学院半导体物理学祝远锋Semiconductor Physics课程任务 阐述半导体物理的基础理论和半导体的主要性质以适应后续专业课程的学习 教材:《半导体物理学》(第7版)刘恩科等 电子工业出版社 参考:《半导体物理学》上册 叶良修编 《半导体物理学》 顾祖毅编《Physics o
平衡态或热平衡是指没有外部作用如电压电场磁场温度梯度等作用在半导体上处于平衡态的半导体的各种性质不随时间变化此时体系的状态用Fermi-Dirac分布描述加入掺杂原子后将改变电子在各能态上的分布因此费米能Ef是搀杂原子的类型和浓度的函数对于本征半导体T=0K时导带全满价带全空 Ef位于Ec与Ev之间的某处(Ef不一定要处于允许占据的能级上)NEC 130nm CMOSThermal motionT
●迁移率和电导率随温度和杂质浓度的变化 漂移运动:载流子在电场力作用下的运动 漂移速度:载流子定向漂移运动的速度E 为电场强度Vdndt电子漂移的电流密度 Jn 为 上式为电导率和迁移率的关系对 p 型半导体 : 补偿型:po=NA-NDz-在〔111〕方向 与z轴夹角为θx′→电离杂质散射示意图V?横金刚石晶格振动沿[110] 方向传播的格波的频率与波矢的关系○平衡时??1?→A
强电离区
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级School of Microelectronics半导体物理SEMICONDUCTOR PHYSICS西安电子科技大学微电子学院5.1 半导体表面和表面能级5.2 Si-SiO2系统中的表面态与表面处理5.3 表面能带弯曲与反型5.4 表面复合第五章 半导体表面 5.1 半导体表面和表面能级 基本定义:达姆指
●单位k空间中的量子态数即k空间的量子态密度 φ(x)=φ(xL)一维情况:K空间中的状态分布?????小立方的体积为: g(k)在k空间是均匀分布的 1导带底的状态密度 通常将态密度定义为单位体积单位能量间隔内的量子态数目因而上式中V1具有s个等价能谷的各向异性导带的态密度就是价带顶位于布里渊区中心且各向同性中心附近的E(k)关系为 对硅mdp= m0对锗mdp= m0 § 费米能级和载流
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