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2006 年 5 月
精密和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段通常按加工精度划分可将机械加工分为一般加工精密加工超精密加工三个阶段 精密加工:加工精度在μm加工表面粗糙度在μm之间的加工方法称为精密加工超精密加工:加工精度高于μm加工表面粗糙度小于μm之间的加工方法称为超精密加工(微细加工超微细加工光整加工精整加工等 )刻蚀(曝光)化学抛光软质粒子机械化学抛光电解加工电解抛光电子束加工激光加工热射线加工扩散去除加工
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