按一下以編輯母片標題樣式按一下以編輯母片第二層第三層第四層第五層教育訓練教材電鍍課 --- 蝕刻廣大科技2002.05.16. 教育訓練資料 ----電鍍課 -- 蝕刻外層板鍍兩次銅與錫鉛及剝掉油墨或光阻后才能蝕刻.此為兩者經曆不同的示意圖.可能原因 因應對策1.1噴嘴堵塞
Click to edit Master title styleClick to edit Master text stylesSecond levelThird levelFourth levelFifth level P. PCB流程-图形电镀蚀刻※制程目的 加厚线路及孔内铜厚使产品达到客户要求图形电镀制程目的图形电镀工艺流程※工艺流程 上板→除油→水洗→微蚀→水
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蝕刻因子蝕刻函數蝕銅除了要作正面向下的溶蝕外蝕液也會攻擊線路兩側無保護的銅稱之為側蝕(Undercut)因而造成如香菇般的蝕刻品質問題Etch Factor即為蝕刻品質的一種指標Etch Factor一詞在美國(以IPC為主)的說法與歐洲的解釋恰好相反美國人的說法是正蝕深度與側蝕凹鍍之比值故知就美國說法是蝕刻因子越大品質越好歐洲則恰好相反其因子卻是愈小愈好很容易弄錯下圖為阻劑後直接蝕銅結果的明確比
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级Jincheng Zhang掌握光刻胶的组成PR 和 –PR的区别描述光刻工艺的步骤四种对准和曝光系统Explain relationships of resolution and depth of focus to wavelength and numerical aperture.光刻概述 Photolithography
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级刻蚀中的化学吴燕宇2010.5.6湿法刻蚀——采用液态的化学腐蚀液去除材料利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分副产物是气体液体或可溶于刻蚀溶液的固体三个基本工艺过程:腐蚀(Etchant Sink)
Click to edit Master title styleClick to edit Master text stylesSecond levelThird levelFourth levelFifth level:.dlit.edu.tw ?2005 DLIT All rights reserved 半導體製造技術第 16 章蝕刻 DE LIN INSTITUTE OF T
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刻蚀中的化学吴燕宇201056湿法刻蚀采用液态的化学腐蚀液去除材料。利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分。副产物是气体、液体或可溶于刻蚀溶液的固体。三个基本工艺过程:腐蚀(Etchant Sink) 清洗(DI Water Rinse) 旋转甩干(Spin dryer 硅的腐蚀硅几乎不溶于所有的酸中,所以硅的腐蚀液需包含氧化剂(如硝酸)和络合剂(如氢氟酸)。目前广泛采用
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