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#外延生长# 相关文档

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    日期:2022-04-05 格式:.pptx 页数:50页 大小:5.47MB 发布:
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    LED生产流程LED芯片的制造工艺流程外延生长的基本原理是:在一块加热至适当温度的衬底基片(主要有蓝宝石和SiCSi)上气态物质InGaAlP有控制的输送到衬底表面生长出特定单晶薄膜目前LED外延片生长技术主要采用有机金属化学气相沉积方法   MOCVD介绍:  金属有机物化学气相淀积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition简称 MOCVD) 1968

    日期:2022-04-12 格式:.docx 页数:49页 大小:1.18MB 发布:
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    日期:2022-04-04 格式:.pptx 页数:51页 大小:6.68MB 发布:
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