单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级磁控溅射法在Si表面上生长的ZnO薄膜的阴极射线荧光许小亮1) 2)徐军2)郭常新2)施朝淑2)1)????? 中国科学技术大学实验教学中心安徽 合肥 2300262)????? 中国科学技术大学物理系安徽 合肥 230026E-mail: xlxuustc.edu大学物理研究型实验网上教学42120221目 录
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级直流磁控溅射镀膜与膜表征重庆工学院 材料科学实验室实验性质与对象1性质:综合性实验2学时数:8学时3对象:材料工程表面工程方向4注意事项:服从实验老师安排依照操作规程细致地开展试验步骤实验报告评分细则项目分值比例备 注实验名称355实验目的5实验原理原理图及必要的文字说明15实验设备器材(全部) 10实验操作步骤5020(详实
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磁控溅射镀膜简介 溅射薄膜靶材按其不同的功能和应用可大致分为机械功能膜相物理功能膜两大类前者包括耐摩减摩耐热抗蚀等表面强化薄膜材料固体润滑薄膜材料 后者包括电磁声光等功能薄膜材料靶材等 具体应用在玻璃涂层 (各种建筑玻璃ITO透明导电玻璃家电玻璃高反射后视镜及亚克力镀膜) 工艺品装饰镀膜 高速钢刀具镀膜 切削刀具镀膜 太阳能反光材料镀膜 光电半导体光磁储存媒体被动组件平面显示器微机电光学组件及各
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