#
#
实验名称:实验直流溅射法制备金属薄膜班级:信息0503 实验日期::宋江凌:40550070同组人:【目的要求】:直接的接触薄膜材料对薄膜材料有一个直观的感性认识 了解喝学会直流溅射制备金属的原理和方法 学会制备干涉法测量薄膜厚的薄膜样品的方法【实验原理】:小型直流溅射仪它可以在较低的真空度下进行直流溅射因此简化了真空系统只需用机械真空泵提供12Pa的真空度即可大大缩短了实验时间
#
#
第l4 卷第5 期
单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级磁控溅射法在Si表面上生长的ZnO薄膜的阴极射线荧光许小亮1) 2)徐军2)郭常新2)施朝淑2)1)????? 中国科学技术大学实验教学中心安徽 合肥 2300262)????? 中国科学技术大学物理系安徽 合肥 230026E-mail: xlxuustc.edu大学物理研究型实验网上教学42120221目 录
第 26 卷第4 期
#
万方数
违法有害信息,请在下方选择原因提交举报