单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级S C H M I D去磷硅玻璃与单边刻蚀 目 录一. 设备工艺流程(设备如图)二. 设备操作安全三. 化学药品的安全及和急救措四. 安 全 设 施五. 操 作 控 制 系 统六. 机器的操作七. 零件名称与符号八. 设备维修计划一.设备工艺流程(设备如图)硅片装载——单边刻蚀——清洗——中和抛光—
吏服磷
单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级天津工业大学单击此处编辑母版标题样式Chap.8 光刻与刻蚀工艺光刻的重要性及要求1光刻工艺流程23湿法刻蚀与干法刻蚀技术45曝光光源曝光方式以及掩膜版光刻工艺的分辨率及光刻胶天津工业大学光刻与刻蚀的定义光刻工艺的重要性:IC设计流程图光刻图案用来定义IC中各种不同的区域如:离子注入区接触窗有源区栅极压焊点引线孔等主流微电子制造过程中光刻是最复杂昂贵
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单击此处编辑母版标题样式单击此处编辑母版文本样式第二级第三级第四级第五级微电子工艺学Microelectronic Processing第六章 光刻与刻蚀工艺张道礼 教授Email: zhang-daoli163Voice: 87542894图形转移光 刻刻 蚀薄膜制备掺 杂 扩散掺杂离子注入掺杂物理气相淀积化学气相淀积外 延微电子单项工艺6.1 概述
Borofloat33玻璃是一种高品质的硼硅玻璃具有卓越的特性和广泛的用途这一全球独一无二的 _ o 浮法玻璃 t _blank 浮法玻璃产品是由SCHOTT Technical Glass Solutions GmbH利用微浮法工艺和最先进的技术生产而成这种技术生产出的硼硅玻璃质地均匀它具有镜面般的绝佳表面极高的表面平整度和良好的光学性能Borofloat33是一种清澈透明的无色玻璃其在整
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